技术指标：

l  直线电机：慧摩森IL/IC系列

l  光栅编码器：MicroE系列

l  X/Y/Z有效行程：可定制

l  定位分辨率：0.05μm        

l  重复定位精度：±1μm

l  控制驱动系统：PMAC多轴控制卡+ELMO/AMC伺服驱动器

系统主要构成：

n  直线电机驱动X、Y直线轴

n  力矩电机直接驱动回转工作台

n  高速电主轴

n  多轴数控系统

n  精密光栅尺反馈

n  其它伺服轴

技术指标：

n  直线运动轴定位精度：15µm              

n  回转运动轴定位精度：0.01º

n  回转角度：Theta360º，Theta1±50º

n  最大进给速度：60m/min

n  主轴最高转速：20000rpm

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