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技术指标:
l 直线电机:慧摩森IL/IC系列
l 光栅编码器:MicroE系列
l X/Y/Z有效行程:可定制
l 定位分辨率:0.05μm
l 重复定位精度:±1μm
l 控制驱动系统:PMAC多轴控制卡+ELMO/AMC伺服驱动器
系统主要构成:
n 直线电机驱动X、Y直线轴
n 力矩电机直接驱动回转工作台
n 高速电主轴
n 多轴数控系统
n 精密光栅尺反馈
n 其它伺服轴
技术指标:
n 直线运动轴定位精度:15µm
n 回转运动轴定位精度:0.01º
n 回转角度:Theta360º,Theta1±50º
n 最大进给速度:60m/min
n 主轴最高转速:20000rpm
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